至纯科技董秘回复： 大宗气体是用空分装置将空气中的氮气、氢气、氧氩氟化氢等提取出来

  至纯科技(603690)09月08日在投资者关系平台上答复了投资者关心的问题。

  投资者：贵公司建有大宗气站且已经持续稳定供应1.5年，请问贵公司的大宗气体应用于半导体制造的哪个环节？在半导体制造中所用到的电子特气和贵公司的大宗气体是否属于同一概念或同类型气体？

  至纯科技董秘：您好，大宗气体是用空分装置将空气中的氮气、氢气、氧气、氩气、氟化氢等提取出来，通过高纯工艺系统处理后进入晶圆制造产线，是晶圆厂生产制造全过程均需使用到的介质，电子特气种类相对更多，具有特殊的化学性质如腐蚀性等，也是半导体领域生产中必不可少的介质。

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